AMTC in Dresden feiert offiziellen Beginn

Pressemitteilung Advanced Mask Technology Center (AMTC Dresden) feiert den offiziellen Beginn der Entwicklungs- und Pilotfertigung am Standort Dresden – die erste Photomaske wird heute präsentiert. In einer Rekordzeit von nur 16 Monaten ist mit dem AMTC Dresden ein weltweit führendes Zentrum für die Forschung und Entwicklung sowie für die Pilotproduktion von Photomasken der nächsten Technologiegenerationen entstanden. Das AMTC Dresden ist ein Joint Venture von Advanced Micro Devices, Inc., DuPont Photomasks, Inc. und Infineon Technologies AG, an dem die drei Partner zu gleichen Teilen beteiligt sind. In dieser für ein Maskentechnologiezentrum weltweit einzigartigen Kombination werden Photomasken für anspruchvollste Speicher- und Logikchips hergestellt. „Ziel der AMTC Entwicklungsaktivitäten ist es, die modernsten Maskentechnologien vor dem Wettbewerb unseren Partnern zur Verfügung zu stellen. Dies erfolgt in enger Zusammenarbeit zwischen den Experten aller Partner am Standort Dresden“, sagte Dr. Markus Dilger, General Manager und Managing Director des AMTC Dresden heute bei einer Pressekonferenz in Dresden. So soll zunächst die Maskentechnologie zur Erzeugung von Strukturen mit Breiten von 90 nm, später 65 nm und auch kleiner entwickelt werden - zum Vergleich, ein menschliches Haar hat einen Durchmesser von 50.000 nm. „Durch den Einsatz von extrem ultravioletten Strahlen (EUV) werden wir hier in Dresden ein technologisch völlig neues Terrain betreten“, so Dilger weiter. Unter der Führung des AMTC Dresden entstand zusätzlich ein Konsortium von 15 Firmen und 6 Forschungseinrichtungen, das sich im Rahmen eines Forschungsgroßprojektes über die kommenden vier Jahre den technologischen Herausforderungen stellen will. Gleichzeitig mit dem Start der Entwicklungs- und Pilotfertigung feierte das AMTC Dresden die Herstellung der ersten Photomaske. Hierbei handelt es sich um eine 193 nm Halbtonmaske, wie sie zur Zeit für die Produktion modernster Chips und Prozessoren bei Advanced Micro Devices Saxony und Infineon Technologies AG eingesetzt werden. Die kundenspezifische Volumenfertigung dieser neuesten High-End-Masken für den Weltmarkt wird anschließend im selben Gebäudekomplex von DuPont Photomasks Germany übernommen. Die Finanzierung des AMTC Dresden ist gesichert. „Wesentlicher Baustein stellt ein von der Dresdner Kleinwort Wasserstein arrangierter Konsortialkredit (11 Banken) in Höhe von 185 Mio. € dar. In diesem Kredit enthalten sind die Kosten für das gesamte Gebäude. Des weiteren hat die EU-Kommission im Juli dieses Jahres Investitionsbeihilfen für das AMTC Dresden genehmigt“, so Dr. Tillmann Blaschke, kaufmännischer Geschäftsführer des AMTC Dresden. Die Investition in das AMTC Dresden soll in den nächsten fünf Jahren rund 360 Mio. Euro betragen. Die Gesamtinvestition in das Maskentechnologiezentrum (AMTC Dresden und DuPont Photomasks Germany) soll in den nächsten fünf Jahren rund 500 Mio. Euro betragen. Bis zum heutigen Tag arbeiten bereits 115 Mitarbeiter in einem international besetzten Team hochmotiviert an der Entwicklung und Fertigung von Masken. Darüber hinaus sind dieses Jahr etwa ein Dutzend weiterer Einstellungen geplant. Markus Dilger: „Dieses Projekt konnte Dank der überaus guten Zusammenarbeit mit Bund, Land und Stadt sowie den Lieferanten und Partnern realisiert werden. Aus diesem Grund freuen wir uns besonders, heute Philippe Busquin, EU Kommissar für Forschung, Edelgard Bulmahn, Bundesministerin für Bildung und Forschung, Prof. Dr. Georg Milbradt, Ministerpräsident des Freistaates Sachsen sowie Herrn Oberbürgermeister Ingolf Rossberg begrüßen zu dürfen.“ Dr. Bill Siegle, Senior Vice President, Technology Operations und Chief Scientist von AMD sagte anlässlich der Werkseröffnung: "Wir freuen uns sehr, dass das AMTC seit seinem Start im Juni vergangenen Jahres so rasche Fortschritte gemacht hat. AMD braucht einen zuverlässigen und dauerhaften Zulieferer für leading-edge Photomasken, um die Volumenfertigung der AMD Fab 30 hier in Dresden auch weiterhin mit einer hohen Produktausbeute fahren zu können. Wenn wir die Waferproduktion von 130 auf 90 nm umstellen, wird die Unterstützung des AMTC für uns noch viel wichtiger. Bei der Umsetzung unserer aggressiven Technologie Roadmap ist es von großem Nutzen, dass das AMTC jetzt seinen Betrieb aufgenommen hat." Marshall Turner, CEO und Chairman von DuPont Photomasks: "Wir sind sehr erfreut mit AMD und IFX in dieser historisch einmaligen Unternehmung zusammenzuarbeiten. Es ist angenehm und spannend zugleich, drei Firmen auf ein einziges Ziel, die Entwicklung und Umsetzung der Photomasken Technologie für 'Sub Micron' Halbleiteranwendungen zu fokussieren. Diese Allianz macht AMTC und Dresden weltweit zum Epizentrum für die Photomasken Forschung und Entwicklung. Wir sind davon überzeugt, dass unsere gemeinsamen Anstrengungen zu weiteren technologischen Durchbrüchen führen." Peter Fischl, CFO der Infineon Technologies AG sagte heute: „Der gemeinsame Bau des Maskenhauses in Dresden ist ein wichtiger Meilenstein, um unsere Technologieführerschaft in der Halbleiterindustrie langfristig zu sichern und auszubauen. Unsere Zusammenarbeit mit AMD und DuPont Photomasks schafft eine herausragende Technologieallianz, die Vorteile für alle bringt. Diese strategische Allianz ist zukunftsweisend, denn sie senkt nicht nur entscheidend Kosten in unserer kapitalintensiven Branche, sondern bündelt als neues Geschäftsmodell die herausragende Expertise von drei führenden Halbleiterherstellern in Dresden, dem Zukunftsstandort für Halbleitertechnologie in Deutschland.“ Weitere Informationen unter: www.amtc-dresden.com