EUV-Lithografie: Intel verkauft ASML-Anteile

Nachdem sich in den vergangenen Jahren mit Intel, Samsung und TSMC nahezu alle großen Halbleiter-Hersteller beim niederländischen Fabrikausrüster ASML eingekauft hatten, folgt nun der große Rückzieher. Wie aus den Berichten der niederländischen Börsenaufsicht hervorgeht, hat Intel seine Anteile an dem EUV-Lithografie-Spezialisten von 14,1 Prozent auf 8,49 Prozent reduziert. TSMC hatte seine Anteile bereits 2015 wieder verkauft, Samsung verkaufte einen großen Teil der Anteile im Jahr 2016.

Insgesamt hatte Intel knapp 4,1 Milliarden US-Dollar in ASML investiert. Teil der Investition war eine 680 Millionen US-Dollar Investition für die Forschung und Entwicklung von Lithografiesystemen für 450-mm-Wafer. Mittlerweile steht zwar der Standard für 450-mm-Wafer fest, doch angesichts der zu erwartenden Kosten wurden die Investitionen vorerst gestoppt. Stattdessen wird man auch in den kommenden Jahren auf 200-mm- und 300-mm-Wafer setzen.

Zuletzt hatte ASML-Chef-Entwickler Jan van Schoot in Aussicht gestellt, dass ab dem Jahr 2020 die 5-nm-Fertigung in Angriff genommen werden kann. im Zeitraum von 2020 bis 2023 sollen dann Chips mit der 3-nm- und 2-nm-Strukturbreite folgen.

(Bild: Wafer von TSMC)